电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma，ICP），一般指电离度超过0.1%被电离了的气体，这种气体不仅含有中性原子和分子，而且含有大量的电子和离子，且电子和正离子的浓度处于平衡状态，从整体来看是中性的。
    电感耦合等离子体发射光谱仪，利用等离子体激发光源（ICP）使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子可进一步电离成离子状态，原子及离子在光源中激发发光。利用分光系统将光源发射的光分解为按波长排列的光谱，之后利用光电器件检测光谱，根据测定得到的光谱波长对试样进行定性分析，按发射光强度进行定量分析。
    等离子炬管是由一个三层同心石英玻璃管（也有其他材料做成的）组成。外层管内通入冷却气Ar以避免等离子炬烧坏石英管。中层石英管出口做成喇叭形状，通入Ar以维持等离子体。内层石英管的内径为1-2mm，由载气（一般用Ar）将试样气溶胶从内管引入等离子体。使用单原子惰性气体Ar在于它性质稳定、不与试样形成难离解的化合物，而且它本身的光谱简单。

    目前，市场上的ICP-AES主要有顺序扫描型和全谱直读型，另有个别的多道型。顺序扫描ICP-AES可灵活选谱线、扫描谱图，具有很大的价格优势和测定灵活性。从理论上讲，可以用于元素所有谱线的分析，适于基体复杂多变和非标准样品的分析，更适合做仪器分析研究工作的人员。当然它也具有分析时间相对较长、Ar用量大、精度差、非同时内标等弱点。
    全谱直读ICP-AES主要采用中阶梯光栅与棱镜色散系统二维色散系统+面阵式检测器，也有采用特制全息光栅与线阵式固体检测器相结合达到全谱直读目的的ICP-AES。全谱直读ICP-AES的优点在于任选或全谱同时测量、谱峰与背景同时测量、谱图存储。
    多道ICP光谱仪，采用凹面光栅，以多个光电倍增管(PMT)为检测器，可进行多元素同时分析，目前仍有生产，但量已经很少。