同位素质谱仪是用于同位素分析的质谱仪器。主要分析对象是：锂、硼、镁、钾、钙、铷、锶、钐、钕、铅、铀和钚，用于核工业、核地质学研究，环境保护和同位素医学等。

    IRMS有多种形式，主要结构类同。主机由电子轰击型离子源、磁分析器和接收器组成，辅助系统包括样品制备和进样系统、供电系统、真空系统和计算机控制系统。
    （1）电子轰击型离子源：加速电压可根据需要设置，最高10kV，离子源电极参数一般可调。以求达到最佳离子传输；
    （2）磁分析器：曲率半径由几十至几百毫米不等，离子传输效率可以达到100%；
    （3）接收器：接收器的设置取决于测试对象，包括多接收的法拉第杯、电子倍增器，Daly 探测器及相应的离子计数装置。
    通常稳定同位素质谱仪大都采用双路进样系统，以便将测量值与标准值及时比较；用涡轮分子泵获得超高真空，排出残余气体，降低“本底”；完备的计算机软件有效控制仪器，实施全程自动化，满足包括C，N，O，S，Si，Ar，Kr，Xe 和H 等元素的传统跳峰测量, 或多接收同时测量。