X射线晶体定向仪利用X射线衍射原理,精密快速地测定天然和人造单晶(压电晶体,光学晶体,激光晶体,半导体晶体)的切割角度,与切割机配套可用于上述晶体的定向切割,是精密加工制造晶体器件不可缺少的仪器。
该仪器广泛应用于晶体材料的研究,加工,制造行业。
1895年德国科学家伦琴发现了X射线,1912年德国科学家劳厄发现了X射线干涉现象,同年英国科学家稚拉格父子发表了著名的布拉格方程:nλ=2dsinθ,从而奠定了X射线衍射基础。以后人们利用X射线及其衍射原理,对单晶材料进行定向与测量,并逐步研制成专用仪器。这种X射线单晶定向仪器经过约40年的历程,如今已发展到第三代。
1、第一代为普通精度单品衍射型,测量精度为±30"。它由高压发生器,X射线管,滤片,准直狭缝,样品测试台,测角仪,射线探测器等构成。为适应绝大多数单品材料晶面间距d值范围,X射线管儿乎都用铜靶,滤片为镍,以消除Kβ谱线及连续谱。这种仪器广泛地应用于水晶,硅锗单晶,各种激光晶体,光纤通讯晶体,以及其它各种单晶材料的定向与测量。
2、第二代为高精度双晶衍射型,测餐精度提高到±15"。这种类型仪器在结构上,增加一个单色器,目的在于使射线管产生的Kα特征谱线更加尖锐,单色化,以提高测量精度同时无需再加滤片。这种类型的仪器士要用于水晶的科研与生产行业,因为随着科技进步由水晶制做的石英谐振器性能要求越来越高,这就要求高精度的定向仪为其定向与测量。
上述两代定向仪都为手摇式。
3、第三代为自动化型。自动化型主要是采用计算机对仪器实行自动化控制,对测得的数据自动化处理;去掉了人为因素干扰,使之测量精度不劣于或好于第二代,且重复性好,生产效率高,这种仪器主要应用于水晶行业。随着科技进步,石英谐振器工业得到飞速发展,广泛应用于航空航天,无线电,通讯领域,各种电话机手机,汽车,家用电器,电子钟表乃至玩具。大量的石英器件的晶片加工的各道工序几乎都需定向仪进行测量,特别是园形晶片,手摇式根本无法测量,于是半自动、全自动长方晶片,园形晶片定向仪应运而生。