X射线荧光光谱仪是一种可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在X射线的激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线，即X荧光。
    波长色散荧光光谱仪一般主要由光源、样品室、分光晶体、检测系统等组成，由X-射线照射在试样上，所产生的X荧光将向各个方向发射，其中的一部分通过准直器后产生平行光束，照射在分光晶体上，晶体将入射光按布拉格方程进行色散，然后由检测系统接收经过衍射的特征X射线信号，根据各种元素产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，可以据此进行定性分析和定量分析。

    一种是对各元素逐一进行角度扫描顺序进行测定的所谓扫描式光谱仪；
    另一种是每个元素都单独配备一个固定的测角器同时分析多个元素的所谓多元素同时分析式X荧光光谱仪；
    还有一种是前两种组合在一起，既有顺序扫描仪又有各种元素的固定分析器。