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金蚀刻剂8148,TFA,8110,8111
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银蚀刻剂TFS
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钽蚀刻剂SIE-8607
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氮化硅,氮化镓或氧化铝膜的选择性蚀刻剂TRANSETCH-N
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钯蚀刻剂
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钛蚀刻剂TFT,TFTN
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镍蚀刻剂TFB,TFG,I型
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磷化镓蚀刻剂GaP
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BUFFERED OXIDE ETCHANTS (BOE)10:1 15:1 100:1
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二氧化硅(SiO2)蚀刻剂Silox Vapox III
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