产品名称

VTC-180EVS溅射蒸发一体机

主要特点

1、磁控溅射和电阻蒸发双应用。本机采用可磁控溅射与电阻蒸发免拆卸转换结构，可快速实现蒸发源的转换。
2、桌面小型一体化结构。本机对真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台A3 打印机相仿（不包含真空机组，480x320x460mm，宽X 高X 深）
3、单、三靶溅射。本机的磁控溅射单元装有三支2 英寸磁控靶或一支3 英寸磁控靶。以适应不同用户的需求。三靶溅射单元装有靶挡板及靶切换半开关，并与挡板联动。
4、高性能开关式直流溅射电源。本机配装我公司自行研制的高性能溅射用直流电流，由于采用开关电源所以对溅射过程中产生的弧光放电具有非常强的抑制作用；电源还具有恒流和恒功率两种溅射工作方式，以适用不同用
户的需求。
5、双蒸发源。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料。
6、高稳定度恒流蒸发电源。本机配装0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。
7、镀膜厚度与速率控制。本镀膜机可选配本公司研制石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中可对镀膜速率和膜层厚度进行控制。
8、数据记录。镀膜机可将采集到的镀膜数据保存到U 盘，便于用户分析控制(选配)。
9、模块化设计。本机将所有功能单设计成标准化模块，根据用户不的需求对相应模块进行组合。以达到**化的镀膜环境。并便于用户维修与维护。
10、图形化操作界面及触屏控制。本机操作控制采用7 英寸TFT 显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。

技术参数

1、溅射靶规格： 2 英寸/3 支（带挡板）或3 英寸1 支（图1、图2）

2、蒸发电源功率： 1000W/5V/200A（图3）
3、蒸发电极有效距离： 55mm（图3）

4、样品台规格: 直径150mm(可选配旋转、挡板和偏压功能)（图4）

5、供电电压： AC220V/2000W
6、溅射电源功率： 500W/600V

7、膜厚测量精度： 0.1Å 或0.01Å（高精度型）
8、充气流量: 50SCCM/100SCCM(两路选配)
9、气源压力: <0.15KPa
10、外接真空机组: 2 升(AC220V)可选配国产扩散泵机组、国产机组或进口机组。
11、真空接口规格： KF40
12、极限真空度: >2.0x10-3Pa、2.0x10-4Pa
13、工作真空度: 3～0.5Pa（磁控）
14、冷却水压力: 0.2～0.4Kpa
15、使用环境温度: <35℃
16、使用环境湿度: <75%(相对湿度)不结露
17、使用环境海拔: <1500m

（图1）

（图2）

（图3）

（图4）

产品规格

1、外型尺寸: 480x320x460(宽x 高x 深)不包含真空泵
2、重量: 约47Kg 不包含真空泵