产品性能介绍：

◆ 最新的内部紧凑设计，缩小设备尺寸

◆7"触屏控制面板操作系统

◆Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺

◆标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制

◆采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部

◆机身选用耐腐蚀不锈钢，内腔采用HDPE材料

◆排风和抽气系统位计于载片台之底部，以利于排风效率和匀胶均一性

◆透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发

产品参数说明：

● 旋涂程序：最多存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

●转动速度：0-5,000rpm(更高速可选)，考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm

●旋涂加速度：0-10,000rpm/sec(更高可选)，考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s

●马达旋涂转速稳定性能误差： < ±1rpm

●转速调节精度和重复性： 1rpm

●工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

●支持wafer尺寸25px-300mm(12“圆晶)

●旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内(去除边缘3毫米区域测量)

产品外型尺寸：613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)