产品性能介绍：
◆尺寸较小，结构紧凑，适合直接放于手套箱内操作，最大可旋涂6寸圆形底物
◆彩色触屏控制，界面简单易用，且自带帮助功能，提供使用向导，对初次使用者非常方便
◆提供多步编程旋涂工艺运行，最多可存贮10组10步程序，还可升级自动点胶功能
◆工业级直流马达，转轴旋转稳定，重复性好
◆独特真空系统设计，可靠性高
产品参数：
● HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能
●SUS耐腐蚀不锈钢机身，耐溶剂性PC透明盖子
●4.3寸全彩触屏人机界面，提供触屏笔操作
●100W直流无刷电机，单片机控制
●内腔直径200mm，可处理碎片(小于1cm)至6英寸圆晶底物
●转速可控范围：100-12000rpm，转速分辨率：1rpm
●加速度可控范围：100-30000rpm/s
●可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序
●带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能
●宽输入电压适用：AC100-230V输入
●带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全
●可选择设置开机密码功能，提高设备操作安全性
产品外型尺寸：270(W)*387(D)*258(H)
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