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CVD

推荐半导体所与北大合作提出新策略:石墨烯作生长缓冲层,实现高亮LED

二维晶体材料如石墨烯、氮化硼等由于其独特的结构、物理特性和光电性能而被广泛研究,近年来 二维 材料独特的范德华外延也为氮化物外延生长开启了新的大门 。范德华外延将晶体衬底与材料间的并入式生长模式,转换为范德华低势垒诱导生长模式, 因此允许外延层与衬底之间存在很大的晶格失配 ,可以用来生长高质量氮化物薄膜 。 同时层间范德华作用能够通过滑移等途径实现柔性剥离,...[更多]

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