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A3-S高精度薄膜厚度测量仪
产品介绍 高精度膜厚仪|薄膜厚度测量仪|光刻胶厚度测厚仪 常见应用
产品型号 A3-SR-100 产品尺寸 W270*D217*(H90+H140)测试支架(配手动150X150毫米测量平台和硅片托盘) 测试方式 可见光,反射 波长范围 380-1050纳米 光源 钨卤素灯(寿命10000小时) 光路和传感器 光纤式(FILBER )+进口光谱仪 入射角 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) 参考光样品 硅片 光斑大小 LIGHT SPOT About 1 mm(标配,可以根据用户要求配置) 样品大小 SAMPLE SIZE 150mm,配150X150毫米行程的工作台和6英寸硅片托盘 膜厚测量性能指标(THICKNESS SPECIFICATION): 产品型号 A3-SR-100 厚度测量 1 Thickness 15 nm - 100 um 折射率 1(厚度要求)N 100nm and up 准确性 2 Accuracy 2 nm 或0. 5% 精度 3 precision 0.1 nm 1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能 2 使用硅片上的二氧化硅测量,实际上材料和待测结构也会影响性能 3 使用硅片上的二氧化硅(500纳米)测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒. |
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