产品特点：

1、射频发生器的高压供电回路，采用先进的电子技术，淘汰了笨重的升压变压器和高频阻流圈，采用功率闭环反馈技术，控制精度小于0.1%。

2、全自动点火 气路智能控制，实现软件点火，更方便。

3.安全冷却水保护、氩气保护、过压、过流、灭弧保护更安全。
4.输出功率自动匹配调谐，功率参数软件程序设定。
5.分光器内充氩气，使波长在180nm的硫和189nm的Sn得到很灵敏的测量效果。

6.优良的光学系统，先进的控制系统，保证峰位定位准确，信背比优良、极小的基体效应。
7.测量范围宽，超微量到常量的分析,动态线性范围5—6个数量级。
8.检出限低，大多数元素的检出限可达ppb级。
9.良好的测量精度，稳定性相对标准偏差RSD≤1.5%（5ppm），国家A级标准（JJG768-2005）。

10.氩气消耗量：14L/min

技术参数：

射频发生器（RF）

(1)电路类型：自激振荡电路，全自动点火，精密高压开关电源供电系统，所有功能实现电脑软件控制(点火、熄火、功率等参数设置)；实时功率控制；自动匹配调谐；光室恒温；；

(2) 工作频率：40.68MHZ±0.05%

(3) 频率稳定性：<0.1%

(4) 输出功率：700－1600w

(5) 输出功率稳定性：≤0.3%

(6) 电磁场泄漏辐射强度：距机身300mm 电场强度E:<2v>

进样装置:

(1) 输出工作线圈内径25mm，3匝

(2) 炬管：外径20mm的石英炬管

(3) 同轴型喷雾器外径6mm

(4) 双筒形雾室外径35mm

(5) 氩气流量计规格和载气压力表规格：

①、 等离子体流量计（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)

②、 辅助气流量计（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

③、 载气流量计（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

④、 载气稳压阀（0-0.4MPa）

仪器内设氩气二次稳压阀（0.3MPa）

测光装置:

(1) 光电倍增管规格： R212UH

(2) 光电倍增管负高压：200-1000V ，稳定性<0.05%

(3) 光电倍增管电流测量范围：10-12 -10-4A

(4) 信号采集为V/F交换：1mV对应100Hz

分光器:
(1) 光路:Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm，

刻线面积: 80×110mm，线色散率倒数：0.26nm
(4) 波长范围：190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.008nm
(6) 扫描波长范围3600线/mm 扫描波长范围：190-500nm
(7) 步进电机驱动最小步距：0.0006nm
(8) 入射狭缝：20μm 出射狭缝：25μm
(9) 发射镜规格：（78 × 105 × 16）mm
(10) 透镜ф30，1：1成像

整机技术指标：

(1) 测量波长范围：

180-500nm 3600L/mm光栅

(2) 测量精度（重复性）：平均相对标准偏差RSD≤1%

(3) 测量稳定性：平均相对标准偏差RSD≤2

(4) 检出下限：亚PPb级