产品型号

1200℃三温区可倾斜旋转炉OTF-1200X-5L-R-III

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有双卡套接头）

4、工作台：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，设有风冷系统。

2、采用高纯氧化铝纤维材料，具有极好的保温性、节能性。

3、内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料，有效地提高反射率及炉膛洁净度。

4、采用上翻盖开启方式，不仅方便更换炉管，且可快速降温冷却。

5、石英管内设有扬料板，可以更好的混合材料。

6、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：AC220V 50Hz/60Hz 4KW

2、石英管：异型管，总长1200mm，两端Ø60mm×420mm，中间外径Ø130mm，内径120mm

3、炉管旋转转速：0-10rpm

4、炉体倾斜角度：0-30°

5、加热区域：总长600mm，温区I长150mm，温区II长300mm，温区III长150mm

6、工作温度：最高1200℃（<1h），连续工作1100℃

7、控温精度：±1℃

8、产率：2kg/炉

9、真空度：10^-2torr

10、进气口：Ø6.35mm卡套接头

11、出气口：Ø12mm宝塔嘴接头

产品规格

尺寸：900mm×600mm×1500mm；重量：130kg

标准配件

1

石英管

1根

2

不锈钢法兰

1套