1、电源:AC220V 50Hz 2、最大功率:约3000W 3、标准过渡舱:385mm×588mm 4、工具过渡舱:Ø150mm×300mm 5、搁物架:吊顶式,位置相对靠后背板且左右可移动,搁物托盘距离顶部大约300mm,尺寸300mm×250mm 6、透明可视面板:双层夹胶安全钢化玻璃,12mm厚,内贴耐腐蚀保护膜 7、照明系统:采用飞利浦荧光灯管 8、有机溶剂过滤系统:内装可更换优质高效活性炭,与HEPA过滤器二合一,位于箱体气体出口或循环管道中 9、HEPA过滤器:符合HEPA标准,安装于箱体内,过滤精度0.3µm 10、水探头:采用美国GE,0-1000ppm,触摸屏显示,精度0.1ppm 11、氧变送器:采用美国AII,0-1000ppm,触摸屏显示,精度0.1ppm 12、压力传感仪:采用美国setra,-2500 Pa -2500Pa,触摸屏显示,精度±1Pa 13、控制系统:6寸彩色触摸控制屏,PLC控制,中英双语可切换 14、真空泵:采用英国EDWARDS,抽速8.4m3/h-12 m3/h 15、气体净化系统:德国BASF除氧材料,美国UOP高效吸水材料,自动除水除氧,净化系统再生过程自动控制,可长期持续维持气体纯度水<1ppm、氧<1ppm 16、箱体内水含量:≤1ppm(标准情况下,一个大气压,20℃恒温) 17、箱体内氧含量:≤1ppm(标准情况下,一个大气压,20℃恒温) 18、压力表:机械式表盘显示 19、真空表:机械式表盘显示 20、泄漏率:≤0.05Vol%/h(以箱体内含氧量的变化值进行检查) 21、过渡舱可承受真空度值:≥100Pa 22、工作气体:N2、Ar、He等惰性气体 23、控制气体:压缩空气或惰性气体 24、还原气体:工作气体和H2的混合气体(如净化系统只有除水功能的还原气体与工作相同) 25、备用接口:KF40接头 26、手套:美国NORTH,**合成橡胶 |