适用范围:5.3×10-5Pa~1.2×105Pa;(氟橡胶) 5.3×10-6Pa~1.2×105Pa;(波纹管) 打开时阀针上的压差:≤5×103Pa任意方向; 阀体和阀座漏率:<1.3×10-7Pa·L·s-1 **保养循环次数:100,000次; 阀体烘烤温度:≤150℃; 气动阀门开关:0.5~0.7MPa;(压缩空气); 安装位置:密封面朝向真空; 电源:气动驱动:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W;(除上述规格,特殊规格可定做); 阀门开启或关闭时间:≤5s; 阀门位置指示 -气动驱动:带有启闭位置指示开关(磁性开关); |