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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
高真空系统GZK-103D
高真空系统GZK-103D图片
型号: GZK-103D
产地: 广东
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型号:GZK-103D
产地:广东
产品介绍

英国**的Edward vacuum pump(由隔膜泵和斡旋分子泵组成),被安装在一移动壳体中(壳体上可以放高温炉)。系统包括了1200mm的KF40波纹管,LCD显示屏。仪器不必另行安装,可直接开箱使用,真空范围为1E-3 到1E-7 mbar 。600mm x 600m的移动壳体顶部可以承受600 Lbs,专门设计针对于本公司的管式炉.

产品名称

高真空系统GZK-103D

产品型号

GZK-103D

注意事项

1、使用前请仔细阅读说明书,防止操作不当将导致仪器损坏。

2、真空泵不可以抽腐蚀性或爆炸性气体。

3、真空泵不可以抽冷凝蒸气。

4、真空泵不可以抽液体。

5、真空泵不可以抽粉尘。

6、真空泵不可以抽高温气体。

7、请不要在潜在的爆炸区域进行操作。

8、为了保护环境和人体健康,请使用尾气过滤器,以尽量减少排放污染物。

9、为保护真空泵免受冷凝蒸气或小颗粒的损坏,请将冷阱或微粒捕集器连接到泵的前级管上

技术参数

1、启动时间:2 Min.

2、输入电压:185-265V

3、持续/最大功率:100/110 W

4、工作范围:1000 mbar 到<1E-7 mbar

5、抽气速率·N2 42L/s

·He 49L/s

·H2 45L/s

6、极限压力:<1E-7 mbar (配和本公司管式炉使用可达到1E-5mbar )

7、移动架壳体:移动壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

最大承重量: 150kg

分子泵控制面板: LCD 数字显示

内部含有英国制造的 Edward vacuum pump

8、控制面板:一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动)

9、系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制泵旋片的旋转速率

标准配件

1

KF40高真空法兰

1个

2

KF40挡板阀

1个

3

法兰支架

1个

4

KF40卡箍

1个

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