VTC-100PAH真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版及表面涂覆等工艺,可用于强酸、强碱涂覆溶液。样件固定采用真空吸附方式。使样件取放自如,操作简单。电机启动快速度稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAH真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。
产品名称 | VTC-100PAH真空旋转涂膜机 |
产品型号 | VTC-100PAH |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有进出水口 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地。 3、气:不需要 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上 5、通风装置:需要 |
主要特点 | 1、真空吸附方式固定样件,操作简便。 2、真空度可以达到-0.08MPa。 3、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。 4、可靠性高,适应性强,维修与保养简单,噪音低,震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。 5、采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。 6、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。 7、具有真空检测、开盖检测功能,且上盖带有保护锁。 8、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止。 9、中/英文可变换操作系统。 10、控制界面采用触摸显示屏,数值显示更直观可靠。 |
技术参数 | 1、电压:24V 适配器 24V/15A 2、电机功率:300W 3、操作界面:7寸触摸屏 4、速度范围:设定:1500-20000rpm(递增量为:100rpm为单位) 5、程序包含16个运行阶段 6、每段增减速率设置范围:100 rpm s—6000 rpm /s 7、时间范围:1-99s(设定速度范围:1500至10000rpm); 1-60s(设定速度范围:大于10000至20000rpm)。 8、吸盘规格:2英寸, 4英寸 |
产品规格 | 尺寸:250mm×340mm×320mm;重量:12kg |
标准配件 | 1 | 真空吸盘(含O型圈) | 2个(2英寸和4英寸) |
2 | 滴胶注射器(20ml) | 1个 |
3 | 无油真空泵 | 1台 |
4 | 适配器24V/15A | 1个 |
可选配件 | 进口移液器 国产移液枪 其它尺寸的真空吸盘 |