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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
VTC-200-CSC柜式匀胶机
VTC-200-CSC柜式匀胶机图片
型号: VTC-200-CSC
产地: 广东
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型号:VTC-200-CSC
产地:广东
仪器类型:匀胶机
产品介绍

产品简介:VTC-200-CSC 柜式匀胶机采用全PP耐腐蚀全柜式设计,满足工业级别手动匀胶需求,配备自动点胶功能确保了匀胶和点胶过程中的重复性。

产品名称

VTC-200-CSC 柜式匀胶机

主要特点

1、耐腐蚀PP全柜式机台

2、适合于8寸以下晶圆匀胶工艺

3、自动点胶系统

4、集成式人机控制系统

5、工业伺服电机系统,满足工业化生产要求

6、可选去边、背洗、温控循环系统

7、底部排液,顶部排气独立PP柜

技术参数

1、转速可调范围:20-10000rpm

2、加减速度可调范围:0-50000rpm/s

3、转速精度:±1rpm,更高精度可选

4、最多可升级4路自动点胶功能

5、可存贮100组100步涂胶程序

产品规格

外型尺寸 1200mm(W)*800mm(D)*2100mm(H)

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