VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪是新自主研制开发的镀膜设备，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪配置三个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。与同类设备相比，其不仅应用广泛，且具有体积小便于操作的优点，是一款实验室制备材料薄膜的理想设备，特别适用于实验室研究固态电解质及OLED等。
产品名称 | VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪 |
产品型号 | VTC-600-3HD |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套 接头）及减压阀 4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、配置三个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜（靶枪可以根据客户需要任意调换）。 2、可制备多种薄膜，应用广泛。 3、体积小，操作简便。 4、整机模块化设计，真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计，可根据用户实际需要调整。 5、可根据用户实际需要选择电源，可以一个电源控制多个靶枪，也可多个电源单一控制靶枪。 |
技术参数 | 1、电源电压：220V 50Hz 2、总功率：＜2.5KW 3、极限真空度：< E-6mbar（配合本公司设备使用可达到E-5mbar） 4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度） 5、靶枪数量：3个 6、靶枪冷却方式：水冷 7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） 8、直流溅射功率：500W（可选） 9、射频溅射功率：300W/500W（可选） 10、载样台：Ø140mm 11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调 12、保护气体：Ar、N2等惰性气体 13、进气气路：质量流量计控制2路进气，1个流量为100 SCCM，1个流量为200 SCCM |
产品规格 | 主机尺寸：500mm×560mm×660mm，整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg |
标准配件 | 1 | 直流电源控制系统 | 2套 |
2 | 射频电源控制系统 | 1套 |
3 | 膜厚监测仪系统 | 1套 |
4 | 分子泵（德国进口） | 1台 |
5 | 冷水机 | 1台 |
6 | 冷却水管（Ø6mm） | 4根 |
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 掩膜版 振动样品台 |
