电子光学系统

分辨率： ≤1.0nm@15KV（非样品台减速模式下采用d25-75的边缘尺度测试法）；

放大倍率：10-1,000,000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需任何模式更换；

电子枪：肖特基热场发射电子枪；

加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调；连续可调；最低加速电压20V（非样品台减速模式）

探针电流：最大电流不小于20nA

电子光路具备色差校正设计，在低电压下高分辨观察性能，能够直接观察不导电样品；

镜筒内具有8KV加减速电压设计，能够保证样品室内无漏磁，可对铁磁性和易磁性材料进行2mm内短距离高分辨成像；

束流稳定性: 优于0.2%/h, 抗噪声性能优于1%/h；

图像存储分辨率：32K*24K

样品室

抽屉式拉门；样品室内宽度或者内部直径不小于350mm；

可容纳最大样品尺寸不小于200mm

配置五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X≥125 mm，Y≥125 mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围≥70°，旋转≥360°（连续旋转）；

配置马达台快捷控制器、配置多功能旋钮操作控制面板或多功能键盘；

配置单样品座，具备导航功能的多样品座；

预留能谱仪、背散射电子衍射等常用附件接口和软件通讯接口；

最大可载样品重量500g；

样品触碰极靴告警；

探测器

样品室内独立的多象限背散射电子探测器；

样品室内二次电子探测器；

安装在镜筒内正光轴上超高分辨In-Lens二次电子探测器；

样品室内彩色CCD相机；

在两个显示屏上，能够同时分别获得二次电子像和背散射电子图像。

真空系统

无油磁悬浮涡轮分子泵，250升每秒；离子泵，维持发射区域超高真空；

前级无油机械泵，10立方米每小时；

样品室真空度：高真空模式优于2×10^-4 Pa，电子枪真空度：10^-7Pa数量级；

全自动真空系统，完全气动阀自动控制；

数字图像记录系统（全进口）

图像显示配置主流品牌液晶显示器，尺寸不小于24寸；

图像记录格式：TIFF、BMP或JPEG；

基于网络架构的数据传输系统；

Windows 10操作系统；

可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；