DX-7系晶棒及晶片角度测量仪是双侧工作台，可同时进行操作，用于对晶棒及晶片的角度进行测量。
DX-7系列晶棒、晶片角度测量仪参数对比表
型 号 | DX-7B | DX-7BG |
主要特点 | 设备构造：设备分为落地式一体机。 外型尺寸：1132（长）×642（宽）×1200（高）mm。 | 样式1 | 样式2 | 样式3 | 功能 | 可测量晶棒的端面和柱面，也可以测量晶片。 | 带有六方型刻度贴片板，可测量晶片端面 | 可测量晶片参考边 | 被测晶体尺寸 | 2-6寸晶棒、长度L≤320mm，2-6寸晶片。 | 2-6寸晶棒、长度L≤100mm，2-6寸晶片。 | 2-6寸晶片。 | 工作台图片 | 
| 
| 
| 配套夹具 | ①V型夹具（测量晶棒端面时使用） ②底板（测量有参考面的晶棒端面时使用） | 无需夹具 | 无需夹具 | 工作台：以上是常见工作台，可根据客户需要，任选以上2种样品台进行组合，也可以双侧一样，还可以根据被测的晶体尺寸，及晶体被测方位来特殊设计。 |
|
设备精度 | 设备综合精度为±30″ （以供方提供的标准石英片10ī1面测量） | 设备综合精度为±15″ （以供方提供的标准石英片10ī1面测量） |
最小读数 | 10″ |
仪器配置 | DX-7B和DX-7BG型X射线单晶定向仪由机台、管套及各种机械附件组成的机械部分；由稳压器、控制器、高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、X射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成。 |
技术指标 | （1）X射线发生器部分： X射线管：铜靶，风扇冷却，阳极接地。 最大管电压：30KVP，全压合闸。 管电流：0—5mA 连续可调，使用2.0mA以上，有可能损坏X光管并加大辐射危害。 （2）输入电源：单相交流220V，50Hz，整机总耗电功率不大于0.3 KW 。 （3）角度测量范围： 2θ角：－10～+110° θ角:-5～+55°。 |
衍射方式 | 单衍射 | 双衍射 |
放大系统 | 传统放大器 | 新型放大器 |
接收系统 | 计数管计数率为104/秒 | 计数管计数率为108/秒 （是普通系列的1万倍） |
接收器寿命 | 1年 | 3年以上 |
X光管寿命 | 按照国家标准400小时 （X光管可以使用3-4个月） | 是正常使用状况下的2-3倍 （X光管至少可以使用一年） |
X管电流强度 | 1-1.5mA | 0.5-1.0mA |
测量和使用效果 | X光管使用2-3个月有可能出现多个假峰，影响准确度。需要经常更换X光管，影响生产效率。 | 可以滤掉X光管的杂峰，不存在假峰现象。X光管可以使用1年左右，不需要频繁调整机器。 |
精度 | 精度±30秒（或±0.008度） | 精度±15秒（或±0.004度） |
辐射 | 测量时使用 mA量越来越大，射线辐射量较大。 | 测量时使用 mA量小，射线辐射量较小。 |
m.cnreagent.com
