三靶磁控溅射部分 1、电源电压:220V 50Hz 2、总功率:2.5KW 3、极限真空度:< E-6mbar(配合本公司机械泵设备使用可达到 E-3mbar) 4、工作温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度) 5、靶枪数量:3个 6、靶枪冷却方式:水冷 7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同) 8、溅射电源功率:300W(射频)/500W(直流) 9、载样台:Ø140mm 10、载样台转速:1rpm-20rpm内可调 11、保护气体:Ar、N2等惰性气体 12、进气气路:质量流量计控制2路进气,1个流量为100 SCCM,1个流量为200 SCCM 手套箱部分 1、电源:单相AC110V-220V 50Hz/60Hz 2、壳体材料:304不锈钢 3、手套箱腔体:1220mm×760mm×900mm 4、前级室:设有2个前级室,大前级室Ø360mm×600mm,小前级室Ø150mm×300mm 5、腔体环境:水含量<1ppm(20℃,1atm),氧含量<1ppm(20℃,1atm) 6、工作气体:N2、Ar、He等惰性气体 7、控制气体:压缩空气或惰性气体 8、还原气体:工作气体和H2的混合气(如果净化系统只有除水功能,还原气体与工作气体相同) 9、气体净化系统:德国BASF除氧材料、美国UOP高效吸水材料,净化系统再生过程自动控制,自动除水、 除氧功能,可长期、持续维持气体纯度在水<1ppm、氧<1ppm 10、压力控制系统:腔体气压可通过PLC触摸屏自动控制,控制精度为±1Pa,也可通过脚踏开关进行手动控制 11、过滤系统:进、出气端都装有过滤器,过滤精度为0.3μm 12、控制系统:SIEMENS彩色触摸屏(6寸),PLC控制系统,中英文双语可切换; 水探头采用美国GE品牌,0-1000ppm触摸屏显示,精度0.1ppm; 氧变送器采用美国AII品牌,0-1000ppm触摸屏显示,精度0.1ppm; 压力传感仪采用美国setra品牌,-2500-2500Pa触摸屏显示,精度±1Pa; 13、真空泵:采用英国EDWARDS品牌,抽速8.4m3/h-12m3/h 14、手套:美国NORTH品牌丁基合成橡胶 15、照明系统:飞利浦品牌荧光灯管 |