ZLS-28D/M型氦质谱检漏仪是一种全新的订制型氦质谱检漏仪，仪器内分子泵采用国外品牌，可靠性高。仪器采用计算机程序控制，通过触摸式显示屏按人机对话方式进行功能操作，具有自动寻峰、程序控制、大字符漏率显示，漏率直读，四种常用漏率单位转换，检漏数据存储、分析、统计及打印等功能，具备高度的智能化程度。该仪器***优势在于：可根据用户需求，通过RS232(或RS485)通信的方式，达到远程操作以及与服务器数据交换的功能；还可根据用户自行订制，完全开放人机界面，实时刷新技术协议，从而达到由生产线上的主服务器来统一控制的需求。

----漏率直读:----

----自动寻峰:----

主要技术参数：
仪器的启动时间：不大于5min
最小可检漏率：优于5×10^-12Pa.m³/s(负压法/喷He)；优于1×10^-9Pa.m³/s(正压法/吸He)
反应时间：不大3s
质谱室允许工作的最高压强：1×10^-2Pa
测试口允许工作的最高压强：1000Pa
仪器的轮廓尺寸：640×550×980mm³
仪器的重量：约75Kg
主要配置：
1.涡轮分子泵----(国外品牌)1台
2.前级泵--------(国外品牌)1台
3.粗抽泵--------(国外品牌)1台
4.质谱分析室-----------1套
5.电子控制线路及软件---1套
6.控制电磁阀-----------1套
7.负压校准漏孔(带计量证书)1支
8.工控计算机(研华15寸触屏式)1台
9．喷枪、气袋---------1套
10.吸枪---------------1套
11.打印机-------------联想1套
仪器的使用条件:
环境温度：＋5℃～＋35℃
环境相对湿度：50～80%
供电电源：220V±22V，功率约为1kVA(用户配稳压器**)
仪器附近无强电磁场干扰