名称:超声波扫描显微镜
型号:V-400E
产地:德国
应用:晶圆面处分层缺陷;锡球、晶圆、或填胶中的开裂;晶圆的倾斜;各种可能之孔洞(晶圆接合面、锡球、填胶…等)
超声波扫描显微镜应用领域:
半导体电子行业:半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;
材料行业:复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等;
生物医学:活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等
超声波扫描显微镜在失效分析中的应用:
晶圆面处分层缺陷
锡球、晶圆、或填胶中的开裂
晶圆的倾斜
各种可能之孔洞(晶圆接合面、锡球、填胶…等)
超声波显微镜的在失效分析中的优势:
非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构
可分层扫描、多层扫描
实施、直观的图像及分析
缺陷的测量及缺陷面积和数量统计
可显示材料内部的三维图像
对人体是没有伤害的
可检测各种缺陷(裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等)
-该型号超声波扫描显微镜系统是实验室、研发和工业生产线主流机型。
- 扫描速度最高可达:2000mm/s
- 与其它品牌机型相比扫描效率高30%
- 最大扫描范围:400mm×400mm
- 最小扫描范围:200μm×200μm
- 射频最大带宽:500MHz
- 新型FCT防误判专利探头