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XPS-7Ⅱ半导体材料气体检测仪
XPS-7Ⅱ半导体材料气体检测仪图片
型号:XPS-7Ⅱ
品牌:COSMOS


产品介绍

检测对象

毒气/半导体材料气体

检测范围

根据规格而定

检测原理

定电位电解式

检测方式

泵吸引式

应用行业

石油化工、半导体制造

产品描述:只需更换传感器组件,即可检测各种半导体材料气体

01.产品特点

·只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体

·用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正

·可以大幅度削减成本和维护时间

02.产品用途

·半导体工厂/石油化学工厂等

·在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

03.对象气体

型号气体满量程
XDS-7NHNH3100ppm
XDS-7SHSiH425ppm
XDS-7DCSiH2Cl225ppm
XDS-7AHAsH3250ppb
XDS-7PHPH31ppm
XDS-7BHB2H6500ppb
XDS-7SEH2Se250ppb
XDS-7GHGeH41ppm
XDS-7CLCl25ppm
XDS-7CFClF31ppm
XDS-7HCHCl25ppm
XDS-7HFHF10ppm
XDS-7HBHBr10ppm
XDS-7NONO100ppm
XDS-7HSH2S50ppm
XDS-7COCO250ppm
XDS-7DSSi2H625ppm
XDS-7F2F25ppm
XDS-7OZO31ppm
XDS-7SDSO210ppm
XDS-7NDNO210ppm
XDS-7NFNF3100ppm

04.产品参数

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