成本高居不下一直是制约多晶硅以及光伏产业发展的根本问题。湖北武大有机硅新材料股份有限公司等国内单位在吸收国外先进成果，并进行大量实践的基础上，创造性提出了以直接法烷氧基硅烷为基础的多晶硅工业新体系，有望从源头破解这一难题。

该工业体系是在综合了直接法烷氧基硅烷、无氯硅烷法多晶硅、炭热还原法多晶硅和物理法多晶硅等多种技术路线的基础上提出的。与目前通用的改良西门子法和新硅烷法不同，该体系采用成本更低、无腐蚀问题的三烷氧基硅烷替代三氯氢硅作为基础原料，采用醇类替代氯作为循环物料，通过无氯法制得中间产物单硅烷，避免了设备腐蚀问题，投资成本得以大幅降低，还可直接使用单硅烷发展薄膜电池；采用效率更高、成本更低的流化床还原技术替代西门子法中的高能耗、难控制的气相沉积工艺，系统能耗大幅度降低；副产物四烷氧基硅烷在脱醇后通过炭热还原法得到硼、磷含量极低的高纯多晶硅，与普通物理法多晶硅相比，其原料杂质水平极低且可控，产品品质因此大幅提高；后续工艺回收的醇类可回到起始环节作为原料，可实现对环境“零排放”，同时提高了原料使用效率，从根本上降低了多晶硅原料成本，并解决了四氯化硅处理问题。且该体系中单硅烷-薄膜电池与多晶硅-硅片电池之间，流化床多晶硅与炭热还原法生产的多晶硅之间，均可根据市场情况和开车情况调节生产，提高体系整体盈利能力。

目前，包括湖北武大有机硅新材料股份有限公司在内的国内相关单位，在借鉴俄罗斯、德国、美国和我国相关成果的基础上，分别从直接法烷氧基硅烷、无氯硅烷法多晶硅、炭热还原法多晶硅和物理法多晶硅等多条技术路线加快该体系的工业化研究，主要关键技术均已进入工业化放大阶段，上海、江苏、福建等地有关单位的合作研究已随之展开。

现有实践表明，使用该方法生产的多晶硅综合成本约为10万至15万元每吨，大规模工业化后的实际成本更低，仅为国内现有水平的五分之一左右。